哈工大威海研究生招生官网 哈工大威海研究生录取分数线
光刻机的研发难度非常大，虽然全球仅有asml可以生产出先进光刻机，然而asml自身也无法完全搞定整个光刻机元件，它自己仅能完成其中10%的零部件，其他零部件需要全球20多个国家的5000多家企业配合，由此可见光刻机这条产业链多么长。对于芯片制造工艺来说，14纳米光刻机并不仅限于生产14纳米工艺，通过多重曝光技术可以实现接近7纳米的工艺，其实此前台积电和三星都并非是从14纳米一步迈进到7纳米，还研发了10纳米、8纳米等工艺，甚至在7纳米工艺上也有7纳米和7纳米euv之分，故以14纳米光刻机生产接近7纳米工艺的芯片是有可能的。
光刻机已是当下中国芯片制造的最大瓶颈，为此中国芯片产业链一直都在共同努力，力求打破这一难关，而哈工大公布的光刻机技术将有助于打破这个环节，国产芯片的先进工艺问题将因此得以解决。
中国的光刻机研发进展落后于其他环节，恰恰就在于产业链需要逐步完善，由于众所周知的原因，中国不仅难以买到先进光刻机，连先进光刻机的元件都难以买到，迫使我们建设自己的光刻机产业链。
此前在国内产业链的支持下，已逐步解决了双工作台、物镜系统、激光光源等诸多光刻机零部件，这次哈工大研发的“高速超精密激光干涉仪”，这项技术是14纳米光刻机的重要技术，可以确保掩膜工作台、双工作台和物镜系统之间复杂的相对位置，实现光刻机的整体套刻精度，可以确保诸多元件整合成系统后的芯片工艺精度，已是光刻机的最后技术之一，也意味着国产先进光刻机即将完成最后的步骤。
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